CO2激光器的镜片通常由硒化锌(ZnSe)制成。由于 CO2激光的波长不能穿透玻璃,所以不会使用玻璃镜片。新锐激光器的谐振镜片(谐振腔内部)是由覆有涂层的铜制成。光束传输系统中的反射镜可以使用覆有涂层的铜镜或硅镜。