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多面转镜扫描头

产品详情

林肯多面转镜扫描产品性能优异,适用于各种超高速标量扫描应用。我们提供各种集成式扫描转镜、标准扫描系统、定制电机与多面转镜组件、以及精密加工的转镜以满足不同的应用需求。从最初设计、样机生产到批量生产,我们的工程师应用和生产专家所组成的团队与客户紧密合作,为众多激光加工应用提供量身定制的解决方案。


林肯多边面转镜扫描产品以其优越的性能和无与伦比的可靠性而闻名。我们的电机多面转镜组件 (MPA) 可用于眼底激光扫描、光学检测,半导体晶圆检测,以及激光遥测,应用范围广泛。林肯多面转镜生产设施位于凤凰城,其员工专注敬业,随时可帮助您开发经优化的解决方案,以满足您复杂的超高速扫描要求。


用我们专业的转镜扫描技术来满足您超高速扫描应用的需求

  • 引领精密及超高速的转镜激光扫描技术40 余年

  • 本转镜扫描产品的研发、生产及销售设施已经 ISO 9001:2015 认证

  • 本设施可进行金刚石车削加工、光学制造(研磨和抛光),光学镀膜、无电镀镍,及精密装配和测试

  • 先进的轴承和主轴设计,转镜的转速高达 55,000 rpm,扫描速率超过100 KHz

  • 选用交流磁滞同步和直流无刷电机,与不同的多档电机伺服系统相结合,提供卓越的性能与可靠性


Lincoln POLYtek™ 多边形扫描头
产品Lincoln POLYtek™ 多边形扫描头
特色按照设计,可对移动目标进行超高速、单轴扫描
波长选项355 nm, 532 nm, 1064 nm, 10.6 μm
扫描速率150 – 800 行/s(标准)
(Optional)   0 – 1600   行/s(可选)
扫描速度 148 – 256 m/s(标准)
0 – 512 m/s(可选)
输入光束直径15 mm(最大)
行位置的可重复性 2 – Y 轴±48 μrad
最佳激光扫描点位置的可重复性 – X 轴±48 μrad
输出扫描角度 3±16°(典型值)
操作温度15 °C ±10 °C
触发扫描传感器
CDA 净化气接口
输入电源 4120 VAC,至控制器
控制卡包含,带软件界面
数据线长度最长 25 ft.(7.62m)
Y 轴振镜可选
振镜模拟通讯±10 V
尺寸(不包含手柄和扫描镜头)10 in x 10.88 in x 11.43 in
(254 mm x 276 mm x 290 mm)
注意1)   计算依据是扫描速率,以及所使用的 255 mm EFL 的 f-theta 镜头
    2) 使用“摆动校正”功能,并选择 Y 轴振镜(校准之后),可进一步提升至 ±16 μrad
    3) 输入光束的直径小于 15 mm,扫描角度更大
    4) 需要使用 ±15 VDC (最大 7 A)、5 VDC 和 24 VDC 输入电源,为扫描头供电




Lincoln hyperSCAN Series
ProductLincoln hyperSCAN Polygonal Scan Head
HighlightsDesigned for   ultra-high-speed, dual-axis scanning on fixed targets
Wavelength Options355 nm, 515 nm,   532 nm, 1030 nm, 1064 nm
Scan Rate217 - 616   lines/s
Scan Speed (on target) 170 - 200 m/s
Output Scan Angle 2±16° (Typical)
Input Clear Aperture15 mm
f-theta Optics Focal Length255 mm
Spot Size (M2=1.0) at 532nm 325 µm
Field Size160 mm X 160 mm
Resolution, X Axis<3 μm
Resolution, Y Axis<3 μm
Repeatability, X Axis 4± 15   μm
Repeatability, Y Axis 4± 15   μm
X-Y Axes GalvanometersYes
Start of Scan SensorYes
CDA Purge PortYes
Control CardIncluded, with   software interface
Input Power24VDC 3A, 48VDC   6A (scan head); 12VDC 2A (controller)
Data Cable Length5m (16.4 ft)   max.
Laser RequirementsPulse on Demand   (POD), Synchronization, Seed Frequency ≥ 50MHz
Operating   Environment25 °C ±10 °C
≤ 80%   RH, non-condensing
Dimensions   (excluding handles and scan lens)10 in x 10.25   in x 10 in
(254 mm   x 260 mm x 254 mm)
Weightapprox. 22 kg.
Notes1) Calculated   based on the scan rate and the use of an f-theta lens of 255 mm EFL
    2) Larger scan angles available with reduced input beam size
    3) Collimated input beam
    4) Laser dependent