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3轴扫描振镜

产品详情

3轴扫描振镜的特点在于，采用了动态聚焦模块(DFM)，该模块灵活性强，适用于要求在大幅面和三维表面上进行扫描的应用。动态聚焦模块可确保激光光点保持在整个工作范围的焦点一致性。ProSeries型产品是一种高性价比的解决方案，适用于常规应用，而LightningTMⅡ型产品的出众之处则在于，其应用的要求是保持24小时以上的高稳定性。我们的扫描振镜可选用多种光学组件和镜片镀膜，适用于范围从紫外到红外波长激光器。

LightningTM II 3 轴数字扫描振镜技术先进，具有最快的速度和最高的精度，适用于极其严苛的工业应用和电子应用，如：增材制造、模切和微加工。ProSeries 型产品成熟可靠，采用模拟技术，带有动态第 3 轴控件，最适用于划线、光伏、微加工、快速制造、模切等应用。这种大功率机型是一种理想的扫描解决方案，可解决激光焊接问题。我们所有的扫描振镜按其设计，均能与 Cambridge Technology 控制器和软件结合使用。

3 Axis Scan System_0.jpg

产品与性能

	20 mm		30mm				50mm
产品	Lightning^TMII Digital		ProSeries 2		Lightning^TMII Digital		ProSeries 2		Lightning^TMII Digital
特色	稳定性好，可确保 24/7 性能恒定、不中断，且在处理大工作范围时，灵活性好。		技术成熟、可靠且高性价比。		系统稳定性好，分辨率达 24 位。		技术成熟、可靠且高性价比。		系统稳定性好，采用 24 位 GSBus 通讯方式。
波长选项	355 nm		1050nm- 1080nm	9.36µm/ 10.6µm	1050nm- 1080nm	9.36µm/ 10.6µm	1050nm- 1080nm	9.36µm/ 10.6µm	1050nm- 1080nm	9.36µm/ 10.6µm
视场大小的范围 ¹	200–2500 mm		100–1200 mm	100–1000 mm	100–1200 mm	100–1000 mm	100 mm–1200 mm	100 mm–1000 mm	100 mm–1200 mm	100 mm–1000 mm
输入光束的大小	1-3 mm	2-3 mm	10 mm	17 mm	10 mm	17 mm	20 mm	17 mm	20 mm	17 mm
最小光斑直径 (200 x 200 mm)	12 µm	18 µm	21 µm	213 µm	21 µm	213 µm	14 µm	149 µm	14 µm	149 µm
跟踪误差	0.2 ms		0.44 ms		0.2 ms		0.44 ms		0.2 ms
常规处理速度	50 rad/s		25 rad/s		50 rad/s
重复精度	<1 µrad
定位分辨率	24 位		16 位		24 位		16 位		24 位
长期漂移 ³	<10 µrad		<100 µrad		<10 µrad		<100 µrad		<10 µrad
热漂移	<2 µrad/°C		<20 µrad/°C		<2 µrad/°C		<20 µrad/°C		<2 µrad/°C
模块化或封闭式	模块化		模块化和封闭式		模块化		模块化和封闭式		模块化和封闭式（仅限大功率产品）
注意：	除非另有说明，否则所有角度均为光学角度。
	1.工作范围和输入孔镜随三镜头总成而异。		1.针对 ProSeries 扫描振镜：预热 30 分钟之后，工作8 小时。平均值的偏差 <3 sigma（各轴）。
	2.针对 Lightning^TM II 扫描振镜：预热 30 分钟之后，工作8 小时。RMS、各轴。