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2轴扫描振镜

产品详情

二轴扫描振镜产品含LightningTM Ⅱ、LXP和ProSeries等系列。二轴扫描振镜针对广泛的应用而设计，涵盖激光增材制造、激光精密微加工、激光标刻和激光雕刻。

LXP和ProSeries 系列产品是封闭式、即插即用型扫描振镜，且带有符合行业标准的电气、机械和光学接口，易于设备集成商集成。

LightningTM Ⅱ扫描振镜经过优化适用于要求高速高精度、高稳定性的极其严苛的应用。

针对从UV到IR波长的激光拥有一系列的镜片镀膜可选。

LightningTM II 扫描振镜具有最快的速度和最高的精度，适用于先进的工业与电子应用，如：激光钻孔、增材制造和精密微加工。

LXP 系列针对高速打标、打码和标识进行了优化。

ProSeries 扫描振镜采用了我们独有的成熟的模拟技术控制，最适用于高精度标刻、划线、蚀刻和雕刻等应用。大孔径的扫描振镜产品适用于塑料焊接、微加工、钻孔等应用。

我们所有的扫描振镜经过设计和优化，能够与 Cambridge Technology 控制器和软件完美结合使用。

扫描振镜性能优、系列范围广、让您尽享优势

处理速度业内最快，产能最大
LXP 与 LightningTM II 型产品具有进行高速扫描的预测型扫描控制功能
适用于精度高、稳定性高的精密型扫描应用
针对特定的应用，拥有经济实惠、高性能的可选配置

产品与性能

7 - 14 m
产品	ProSeries 1			ProSeries 2			LXP Hybrid			Lightning^TMII Digital
特色	加加工速度快、应用于广泛的应用领域			加工精度高，应用于要求精密扫描的应用领域。			加工速度最快，自动调谐，系统性能和效率最高。			加工精度和速度最高，定位分辨率达 24 位。
波长选项	355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
	宽带镀膜：350 nm – 12 μm
孔镜尺寸	7mm	10mm	14mm	7mm	10mm	14mm	7mm	10mm	14mm	14 mm
扫描角度	± 20°	± 22°	± 22°	± 20°	± 22°	± 22°	± 20°	± 22°	± 22°	± 22°
常规标刻速度 ¹	4.0	3.1	2.5	4.0	3.1	2.5	4.0	3.1	2.5	8
(m/s)
常规写入速度 ^1,2	1100	1000	890	1100	1000	890	1100	1000	890	N/A
(cps)
阶跃响应 ^3,4	185	220	280	185	220	280	185	220	280	360
(µsec)
重复精度 ^5,6	20	16	12	20	16	12	20	16	12	2
(µrad)
命令解析	16 位			16 位			16 位			24 位
长期漂移 ^7,8	位置漂移：<200 µrad			位置漂移：<100 µrad			位置漂移：<200 µrad			10 µrad
	增益漂移：<200 ppm			增益漂移：<100 ppm			增益漂移：<200 ppm
热漂移	位置漂移：<25 µrad/°C			位置漂移：<20 µrad/°C			位置漂移：<25 µrad/°C			2 µrad
	增益漂移：<50 ppm/°C			增益漂移：<50 ppm/°C			增益漂移：<50 ppm/°C
模块化或封闭式	封闭式			封闭式			封闭式			模块化
注意：	所有角度均为光学角度，除非另有说明。
	1.160 mm F-Theta 聚焦镜头用于标记和打标速度测试。
	2.单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。
	3.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：假定步长为全量程的 1%。
	4.对于LightningTM II 扫描振镜：假定步长为 10 mrad。
	5.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：平均值 <3 sigma（各轴）。
	6.对于 LightningTM II 扫描振镜：RMS、各轴。
	7.针对 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：预热 30 分钟之后，在操作 24 小时过程之中，各轴。
	8.针对 Lightning^TM II 扫描振镜：预热 30 分钟之后，在操作 8 小时过程之中，各轴。

20 - 30 mm
产品	ProSeries 2		Lightning^TMII
特色	精度高；适用于大孔径应用。		加工精度和速度最高；位置分辨率达 24 位。
波长选项	355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
	宽带镀膜：350 nm – 12 μm
孔镜尺寸	20 mm	25 mm	20 mm	25mm	27mm	30mm
扫描角度	± 20°	± 15°	± 20°	± 17°	± 18°	± 22°
常规处理速度 ¹	1.0 m/s	0.9 m/s	50 rad/sec
阶跃响应 ^2,3	800	900	370	360	450	550
(µsec)
命令解析	16 位	16 位	24 位
重复精度 ^4,5	12	12	<1
(µrad)
长期漂移 ^6,7	位置漂移：<100 µrad		10 µrad
	增益漂移：<100 ppm
热漂移	位置漂移：<20 µrad/°C		2 µrad opt/°C
	增益漂移：<50 ppm/°C
模块化或封闭式	封闭式		模块化
注意：	所有角度均为光学角度，除非另有说明。
	1. 160 mm F-Theta 聚焦镜头用于标记和打标速度测试。
	2.单笔划 1 mm 字符、SIMPLEX 字体。
	3.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：假定步长为全量程的 1%。
	4.对于Lightning^TM II 扫描振镜：假定步长为 10 mrad。
	5.对于 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：平均值 <3 sigma（各轴）。
	6.对于 Lightning^TM II 扫描振镜：RMS、各轴。
	7.针对 ProSeries 和 LXP 扫描振镜：预热 30 分钟之后，在操作 24 小时过程之中，各轴。
	8.针对 Lightning^TM II 扫描振镜：预热 30 分钟之后，在操作 8 小时过程之中，各轴。