XY扫描振镜电机

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XY扫描振镜电机

产品详情

每个62xxH和83xxK系列的振镜都是采用了经过了高度优化的动磁转子和拥有专利的位置传感器。

这些专属设计匹配一系列不同尺寸的、经过高度优化的振镜镜片，可实现高速、高精度的光学扫描。不论您注重的是速度、精度、封装尺寸还是价格，我们都能提供丰富的配置满足您对性能和价格的要求。

灵活性、速度、精度和可靠性无与伦比

电机速度业界最快，漂移小、长期稳定性好
精度和准确性一流，扫描输出品质高
镜片尺寸和镜片镀膜范围广
机型紧凑、封装尺寸小，易于在狭小空间内集成
所提供的产品种类多，包含高性能产品，直至经济型产品

产品与性能

3 - 7 mm
产品	62xxH 系列 XY 振镜电机	83xxK 系列 XY振镜电机
特色	外形紧凑、热效率高，轴承寿命长，在狭小空间实现高速、高可靠性扫描。	具有 62xxH 系列的全部优势，其噪音和漂移更低，稳定性和分辨率更好。
波长选项	355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
	宽谱镀膜：350 nm – 12 μm
最大扫描角度	40°
小角度阶跃响应 ¹	100 μs - 200 μs
（常规）
线性度	最小为 99.9%，超过 20°
	通常为 99.5%，超过 40°
比例漂移	50 ppm/°C	15 ppm/°C
（最大）
零点漂移	15 μrad/°C	5 μrad/°C
（最大）
重复精度	8 μrad
兼容型伺服驱动器	模拟系列：671、672、673
	数字系列：DC900、DC2000、DC3000 Plus
注意：	除非另有说明，否则所有角度均为机械角度。
	1. 0.1°步距并稳定在最终位置的99%。需要使用 Cambridge Technology 伺服控制板。

10 - 20 mm
产品	62xxH 系列 XY 振镜电机	83xxK 系列 XY振镜电机
特色	尺寸紧凑、可靠、经济、性能经过优化，适用于矢量标刻应用。	针对精密的微加工应用，以及严苛的标刻应用，83xxK 可提供更高的精度和分辨率。
波长选项	355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
	宽带镀膜：350 nm – 12 μm
最大扫描角度	40°
小角度阶跃响应 ¹	250 μs - 500 μs
（常规）
线性度	最小为 99.9%，超过 20°
	通常为 99.5%，超过 40°
比例漂移	50 ppm/°C	15 ppm/°C
（最大）
零点漂移	15 μrad/°C	5 μrad/°C
（最大）
重复精度	8 μrad
兼容型伺服驱动器	模拟系列：671、673
	数字系列：DC900、DC2000、DC3000 Plus
注意：	除非另有说明，否则所有角度均为机械角度。
	1. 0.1°步距并稳定在最终位置的99%。需要使用 Cambridge Technology 伺服控制板。

25 - 50 mm
产品	62xxH 系列 XY 振镜电机	83xxK 系列 XY振镜电机
特色	解决方案业内领先，能够可靠地驱动大负载，适用于所有常规的加工应用。	稳定性更好、分辨率更高，可满足大工作范围应用和精密材料加工的要求。
波长选项	355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 μm - 10.6 μm
	宽带镀膜：350 nm – 12 μm
最大扫描角度	40°
小角度阶跃响应 ¹	1 ms - 5 ms
（常规）
线性度	最小为 99.9%，超过 20°
	通常为 99.5%，超过 40°
比例漂移	50 ppm/°C	15 ppm/°C
（最大）
零点漂移	15 μrad/°C	5 μrad/°C
（最大）
重复精度	8 μrad
兼容型伺服驱动器	模拟系列：671、673
	数字系列：DC900、DC2000、DC3000 Plus
注意：	除非另有说明，否则所有角度均为机械角度。
	1. 0.1°步距并稳定在最终位置的99%。需要使用 Cambridge Technology 伺服控制板。